真空蒸发镀膜的形成机理有哪几种

真空蒸发镀膜的形成机理有电阻蒸发镀，电子束蒸发镀，高频感应加热蒸发镀，电弧加热蒸发镀，共四种，电弧加热蒸发镀具有可以避免电阻加热材料或坩埚材料的污染，加热温度较高的特点。

真空蒸发镀膜是在真空条件下，用蒸发器加热蒸发物质，使之升华，蒸发粒子流直接射向基片，并在基片上沉积形成固态薄膜，或加热蒸发镀膜材料的真空镀膜方法。蒸发热力学液相或固相的镀料原子或分子要从其表面逃逸出来，必须获得足够的热能，有足够大的热运动。